SCFM（Semiconductor Component Fabrication Model）基准数据集由亚利桑那州立大学（ASU）ACIMS 实验室基于 Intel 半导体制造厂模型构建，采用并行离散事件系统规范（PDEVS）形式化建模，并通过 DEVS-Suite 仿真器执行生成时序数据。数据集包含 372 次仿真运行的 6,995 维特征（自相关、趋势、偏度、分位数变化、熵等），以'流水线吞吐量（Cascade Factory Throughput）'时序为核心变量，公开于 GitHub（https://github.com/comses/SCFM）。该数据集于 2024 年 8 月发布（arXiv:2408.09307），提供单变量与多变量基线模型作为参考。由于发布时间较短，社区下游引用尚少。
| 行业 | 半导体制造 |
|---|---|
| 任务 | scheduling，forecasting，process_monitoring |
| 模态 | engineering_parameters |
| 频率档 | low |
| 采样率 | — |
| 真实度 | simulation |
| 访问门槛 | open |
| 质量评分 | ★★★☆☆ |
| 采用度 | new |
| 数据形态 | discrete_event |
| 是否多模态 | 否 |
| 规模 | 372 种场景，1 min 粒度，TsFresh 可提 6,995 特征 |
| License | CC BY-NC-SA 4.0 |
少数为半导体 fab 设计的公开仿真基准；适合调度/吞吐预测代理模型。
纯仿真，无真实噪声与 FDC 标注。