ST-AWFD（STMicroelectronics Automatic Wafer Fault Detection）数据集由意法半导体（STMicroelectronics）发布，包含两个子集（D1 和 D2），均为真实半导体晶圆制造过程中的多变量时序数据，每条时序含晶圆 ID、工艺步骤 ID 和时间戳三个参考特征，样本包含正常与故障两类标签。数据集公开于 GitHub（https://github.com/STMicroelectronics/ST-AWFD），是半导体行业少有的真实工厂多变量时序故障检测公开数据集之一。现有下游引用集中于无监督异常检测与生成预训练方向。
| 行业 | 半导体制造 |
|---|---|
| 任务 | fault_detection，classification |
| 模态 | flow，pressure，temperature |
| 频率档 | — |
| 采样率 | — |
| 真实度 | real_production |
| 访问门槛 | open |
| 质量评分 | ★★★★★ |
| 采用度 | medium |
| 数据形态 | batch_run |
| 是否多模态 | 是 |
| 规模 | D1: 5,105 批 602,108 行 × 20 列；D2: 1,157 批 126,795 行 × 25 列 |
| License | open |
真实量产 fab 公开数据极稀缺，60 万行带标注。